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  • 贵惭-笔搁-笔顿厂掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统
    贵惭-笔搁-笔顿厂掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统

    掩膜版|保护膜表面颗粒物快速检测系统(PDS)为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板(衬底)制造工艺,提供高通量的表面颗粒污染检测服务。 该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度,是一种高效且提供服务的选择。它能以手动或自动的操作方式,以及较低的维护成本,取代传统的颗粒检测系统。

    更新时间:2025-06-03型号:FM-PR-PDS浏览量:167
  • 贵惭-奥-笔顿厂晶圆表面颗粒物快速检测系统(笔顿厂)
    贵惭-奥-笔顿厂晶圆表面颗粒物快速检测系统(笔顿厂)

    Fastmicro 晶圆表面颗粒物快速检测系统(PDS),专为各行业产物表面颗粒污染物直接测量而设计,主要应用于半导体领域的晶圆、薄膜及光罩检测,也可用于显示市场等基板检测。该系统配备 4-12 英寸视场(FOV)扫描区域,支持上下表面检测。其光学设计使产物在计量过程中无需移动即可完成检测。该系统可根据不同生产工艺需求进行定制,或直接集成至产线。

    更新时间:2025-06-03型号:FM-W-PDS浏览量:147
  • 贵惭-笔厂-厂础厂-痴01仪器表面颗粒物分析仪
    贵惭-笔厂-厂础厂-痴01仪器表面颗粒物分析仪

    Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪,是一款基于“胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具,可通过间接测量方式识别小至 0.5um 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面(包括难以触及区域和高粗糙度表面)实现灵活采样,且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225 mm2 采样区域的分析,确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架,也可对沉降颗粒进行检测,满足跨行业复杂

    更新时间:2025-06-03型号:FM-PS-SAS-V01浏览量:139
  • 贵惭-笔厂-笔贵厂-痴02环境落尘颗粒实时监控仪
    贵惭-笔厂-笔贵厂-痴02环境落尘颗粒实时监控仪

    Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪,专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发,支持秒级间隔的数据采集,精准测量 0.5 um 以上颗粒。结合直观易用的软件系统,帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级,为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。

    更新时间:2025-06-03型号:FM-PS-PFS-V02浏览量:128
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