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掩膜版｜保护膜表面颗粒物快速检测系统（PDS）为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板（衬底）制造工艺，提供高通量的表面颗粒污染检测服务。 该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度，是一种高效且提供服务的选择。它能以手动或自动的操作方式，以及较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统。

Fastmicro 晶圆表面颗粒物快速检测系统（PDS)，专为各行业产物表面颗粒污染物直接测量而设计，主要应用于半导体领域的晶圆、薄膜及光罩检测，也可用于显示市场等基板检测。该系统配备 4-12 英寸视场（FOV）扫描区域，支持上下表面检测。其光学设计使产物在计量过程中无需移动即可完成检测。该系统可根据不同生产工艺需求进行定制，或直接集成至产线。

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪，是一款基于“胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具，可通过间接测量方式识别小至 0.5um 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225 mm2 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5 um 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。